低溫等離子廢氣處理（lǐ）技（jì）術，采用雙介質阻（zǔ）擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體（tǐ）的密度大，初用於氟利昂類、哈隆類物質的分解（jiě）處理，後延伸（shēn）至（zhì）工業惡臭、異味。

低溫（wēn）等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子（zǐ）體的密度大（dà），初（chū）用於氟利昂類、哈隆類物質的分解處（chù）理，後延伸至工（gōng）業惡臭、異味、有毒有（yǒu）害氣體處理。

該技術（shù）節能、環保，應用範圍廣，所有化工生產環節產（chǎn）生的惡臭異味幾乎都可以處理，並對二（èr）惡英有良好（hǎo）的分解效果。

等離子體工業廢氣處理技術已研製出標準化廢氣治理設備，利用所產生的電子、自由基等活性粒（lì）子激（jī）活、電離、裂（liè）解工業（yè）廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些（xiē）列複（fù）雜的化學反應，再經過多級淨化，從而消除各種汙染源排放的異味、臭味汙染物，使有毒有（yǒu）害氣體達到低毒化，保護人類生（shēng）存環境。由於其對汙染物分子的分解且（qiě）處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開（kāi）辟了一條新的思路。

作用原理：

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之後的（de）物質（zhì）第四態（tài），當（dāng）外（wài）加電壓達到氣體的放電（diàn）電壓時，氣體被擊（jī）穿，產生（shēng）包括電子（zǐ）、各種離子、原（yuán）子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體係呈現低溫狀態，所（suǒ）以稱為（wéi）低溫等離子體。

低溫等離（lí）子（zǐ）體降解汙染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的汙染物作用，使汙染物分子在極短的時間內發生（shēng）分解，並發生後續的各種反應以達到降（jiàng）解汙染物的目的（de）。（注：低溫等（děng）離子體相對於（yú）高溫等離子體而言，屬於常溫運行。）

等離子體反應（yīng）區富含物質，如電子（zǐ）、離子、自由基和激（jī）發態分（fèn）子等，廢氣中的汙染物質可與這些具有較量的物質發生反應，使汙染物質在（zài）極短的時間內發生（shēng）分解，並發生後續的各種反應以達到降解汙染物（wù）的目的。